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SnO_2-TiO_2薄膜载体对Au-Pt纳米颗粒电化学性能的影响 认领 引用 被引量：3
1
作者 于志辉 谢佳 夏定国 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS 北大核心 2008年第6期1190-1194,共5页
采用真空镀膜法在玻碳(GC)电极表面修饰SnO2-TiO2薄膜,在SnO2-TiO2/GC复合电极表面组装Au-Pt双金属纳米颗粒,制得Au-Pt/SnO2-TiO2/GC复合电极.通过循环伏安法(CV)研究了SnO2-TiO2薄膜载体对Au-Pt双金属纳米颗粒电化学性能的影响;采用扫... 采用真空镀膜法在玻碳(GC)电极表面修饰SnO2-TiO2薄膜,在SnO2-TiO2/GC复合电极表面组装Au-Pt双金属纳米颗粒,制得Au-Pt/SnO2-TiO2/GC复合电极.通过循环伏安法(CV)研究了SnO2-TiO2薄膜载体对Au-Pt双金属纳米颗粒电化学性能的影响;采用扫描电镜(SEM)及X射线光电子能谱(XPS)对Au-Pt在SnO2-TiO2薄膜沉积的形貌及结构进行了表征.研究结果表明,10nm的Au-Pt双金属纳米颗粒均匀地组装于SnO2-TiO2薄膜表面;SnO2-TiO2薄膜载体改善了复合电极抗CO中毒能力;Au-Pt双金属合金的形成提高了Pt对甲醇氧化的电催化能力,SnO2-TiO2薄膜载体又使Pt纳米粒子d空轨道增多,提高了Au-Pt双金属纳米颗粒的稳定性和催化性能. 展开更多
关键词 Au-Pt纳米颗粒 SnO2-TiO2薄膜 抗CO中毒 甲醇氧化
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Ag-TiO_2/SnO_2纳米薄膜的制备及其光催化降解罗丹明B的性能 认领 引用 被引量：7
2
作者 李爱昌 崔志鹏 李文菊 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS 北大核心 2009年第2期303-307,共5页
以光还原法沉积Ag修饰TiO2/SnO2,制备Ag-TiO2/SnO2纳米薄膜,讨论紫外光照时间、光照强度、AgNO3浓度等工艺条件对光催化活性的影响。用XRD和SEM对薄膜的结构、表面形貌和化学组成进行表征,以罗丹明B为模拟污染物对光催化性能进行测定。... 以光还原法沉积Ag修饰TiO2/SnO2,制备Ag-TiO2/SnO2纳米薄膜,讨论紫外光照时间、光照强度、AgNO3浓度等工艺条件对光催化活性的影响。用XRD和SEM对薄膜的结构、表面形貌和化学组成进行表征,以罗丹明B为模拟污染物对光催化性能进行测定。结果表明,最佳条件下制备的Ag-TiO2/SnO2薄膜,Ag担载量为0.51%(at%),Ag簇直径在30～90nm之间。薄膜具有较高的光催化活性,对罗丹明B的降解率是修饰前TiO2/SnO2薄膜的1.92倍,是相同质量TiO2/ITO薄膜的2.54倍。催化活性的提高,源于反应机制的改变。薄膜中Ag-TiO2异质结的引入,一方面进一步促使光生电荷分离,另一方面加速了氧气与激发电子的还原反应。 展开更多
关键词 银 TiO2/SnO2纳米薄膜 光沉积 光催化 罗丹明B
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Fe3+-TiO_2/SiO_2薄膜催化剂的结构对其光催化性能影响 认领 引用 被引量：44
3
作者 付宏刚 王建强 +4 位作者 任志宇 闫鹏飞 于海涛 辛柏福 袁福龙 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS 北大核心 2003年第9期1671-1676,共6页
以硅胶为载体,采用溶胶-凝胶法制备了掺杂不同量Fe3+的TiO_2光催化剂(Fe3+-TiO_2/SiO_2),以氙灯为光源,罗丹明B为目标降解物,对其光催化活性进行了研究。结果表明,Fe3+-TiO_2/SiO_2比TiO_2纳米粉有更好的催化活性,Fe3+的最... 以硅胶为载体,采用溶胶-凝胶法制备了掺杂不同量Fe3+的TiO_2光催化剂(Fe3+-TiO_2/SiO_2),以氙灯为光源,罗丹明B为目标降解物,对其光催化活性进行了研究。结果表明,Fe3+-TiO_2/SiO_2比TiO_2纳米粉有更好的催化活性,Fe3+的最佳掺入量为0.03％。罗丹明B在粉体和膜催化剂的作用下遵循不同的光催化反应机理。根据XRD,SEM,Raman,XPS和FTIR的表征结果可认为,TiO_2在SIO_2表面薄膜化和Ti-O-Si键的形成是催化活性提高和降解机理不同的主要原因。 展开更多
关键词 Fe3+-TiO2/SiO2薄膜 催化剂 结构 光催化性能 溶胶-凝胶法 制备 二氧化钛
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凹凸棒黏土-SnO2-TiO2复合材料的制备及其光催化性能 认领 引用 被引量：10
4
作者 张莉莉 吕伏建 +2 位作者 刘建全 汤超 汪信 《应用化学》 CAS 北大核心 2010年第1期63-68,共6页
以凹凸棒黏土(Att)为基体,通过原位溶胶-凝胶工艺,将SnO2-TiO2复合氧化物负载于凹凸棒黏土表面制备凹凸棒黏土复合型光催化剂(Att-SnO2-TiO2)。采用XRD、BET、TEM等分析测试技术对产物进行了表征。结果表明,SnO2-TiO2复合氧化物均匀地... 以凹凸棒黏土(Att)为基体,通过原位溶胶-凝胶工艺,将SnO2-TiO2复合氧化物负载于凹凸棒黏土表面制备凹凸棒黏土复合型光催化剂(Att-SnO2-TiO2)。采用XRD、BET、TEM等分析测试技术对产物进行了表征。结果表明,SnO2-TiO2复合氧化物均匀地负载于凹凸棒黏土表面,其平均粒径约10 nm;经过复合氧化物负载改性后,凹凸棒黏土的表面形貌得到明显改善,产物的负载效果好、比表面积大。以光催化降解甲基橙为探针,研究了凹凸棒黏土复合光催化剂的光催化性能。结果表明,凹凸棒黏土复合光催化剂显示出优异的光催化性能,其光催化活性顺序为Att-SnO2-TiO2>Att-SnO2>Att-TiO2。以性能较佳的Att-SnO2-TiO2为催化剂光降解甲基橙30 min,结果表明,甲基橙的降解率达99%。实验表明,Att-SnO2-TiO2复合光催化剂可重复利用。 展开更多
关键词 SnO2-TiO2 光催化 凹凸棒黏土 负载 溶胶-凝胶法
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复合型固体超强酸SO_42-/SnO_2-TiO_2催化合成乙酸松油酯的研究 认领 引用 被引量：11
5
作者 赵黔榕 吴春华 +3 位作者 毕韵梅 姜婧 石睿 秦红艳 《化学研究与应用》 CAS 北大核心 2006年第5期510-514,共5页
采用溶胶一凝胶法制备了新型复合固体超强酸SO42-/SnO2-TiO2,通过XRD和IR对其结构进行了表征。以该固体酸为催化剂、松油醇和乙酸酐为原料合成乙酸松油酯,考察了影响反应的因素。结果表明:反应温度40-50℃、催化剂用量1.8-2.2%、醇酐摩... 采用溶胶一凝胶法制备了新型复合固体超强酸SO42-/SnO2-TiO2,通过XRD和IR对其结构进行了表征。以该固体酸为催化剂、松油醇和乙酸酐为原料合成乙酸松油酯,考察了影响反应的因素。结果表明:反应温度40-50℃、催化剂用量1.8-2.2%、醇酐摩尔比1:1.6、反应时间4-5h是最适宜的反应条件,其松油醇转化率达到98%以上,产物中乙酸松油酯含量为88%。与普通单氧化物固体酸比较,该复合型固体酸有更高的催化活性和选择性。 展开更多
关键词 固体超强酸 SO4^2-/SnO2-TiO2 改性 乙酸松油酯 催化 合成
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F掺杂SnO_2透明导电薄膜微结构及性能研究 认领 引用 被引量：10
6
作者 莫建良 陈华 +4 位作者 曹涯雁 刘起英 汪建勋 翁文剑 韩高荣 《太阳能学报》 EI CAS 北大核心 2004年第2期152-156,共5页
通过实验测量常压热分解CVD工艺制备的F掺杂SnO2薄膜的方块电阻、膜厚、形貌、微结构、中远红外反射率等性质,详细研究了基板温度对SnO2薄膜微结构的影响和微结构与薄膜电学、光学性能之间的关系。研究发现,将基板温度从375℃提高到525... 通过实验测量常压热分解CVD工艺制备的F掺杂SnO2薄膜的方块电阻、膜厚、形貌、微结构、中远红外反射率等性质,详细研究了基板温度对SnO2薄膜微结构的影响和微结构与薄膜电学、光学性能之间的关系。研究发现,将基板温度从375℃提高到525℃以上,薄膜结晶程度大大提高,薄膜厚度从25nm提高到近300nm,方块电阻下降了两个数量级,中远红外的反射率达到了85%以上。 展开更多
关键词 CVD F掺杂SnO2薄膜 微结构 性能
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掺杂SnO_2透明导电薄膜电学及光学性能研究 认领 引用 被引量：44
7
作者 郭玉忠 王剑华 +1 位作者 黄瑞安 王贵青 《无机材料学报》 SCIE EI CAS 北大核心 2002年第1期131-138,共8页
通过实验测量 sol－gel工艺制备的 Sb掺杂 SnO2薄膜载流子浓度、迁移率、电阻率、膜厚，紫外－可见光区透射率、反射率等性质，详细研究了Sb掺杂SnO2薄膜电学与光学性能．实验发现，薄膜具有良好的透光性和较高导电性，膜内载流子浓度高... 通过实验测量 sol－gel工艺制备的 Sb掺杂 SnO2薄膜载流子浓度、迁移率、电阻率、膜厚，紫外－可见光区透射率、反射率等性质，详细研究了Sb掺杂SnO2薄膜电学与光学性能．实验发现，薄膜具有良好的透光性和较高导电性，膜内载流子浓度高达1020cm－3，电阻率～10－2Ω·cm，透光率高达 90％，SnO2膜禁带宽度 Eg＝37～3．80eV． 展开更多
关键词 Sb 掺杂 SnO2薄膜 导电性 测量 透光度 反射率 电学性能 二氧化锡 半导体材料 锑 光学性能
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SnO_2TiO_2复合半导体纳米薄膜的研究进展 认领 引用 被引量：16
8
作者 尚静 谢绍东 刘建国 《化学进展》 SCIE CAS 北大核心 2005年第6期1012-1018,共7页
本文概述了SnO2TiO2复合半导体纳米薄膜的发展历史和研究现状,对比分析了“混合”、“核壳”和“叠层”3种复合薄膜的结构和性能特点,着重论述了叠层结构的SnO2/TiO2复合薄膜的光电化学和光催化特性。结合作者的研究工作,探讨了SnO2/TiO... 本文概述了SnO2TiO2复合半导体纳米薄膜的发展历史和研究现状,对比分析了“混合”、“核壳”和“叠层”3种复合薄膜的结构和性能特点,着重论述了叠层结构的SnO2/TiO2复合薄膜的光电化学和光催化特性。结合作者的研究工作,探讨了SnO2/TiO2双层复合薄膜上下层厚度对其光催化活性的影响,指出复合薄膜光催化活性的提高可归因于电子从TiO2向SnO2的迁移。最后对SnO2/TiO2复合薄膜的局限性和发展潜势做一简要分析,强调了该复合薄膜本身的应用特点。 展开更多
关键词 SnO2 TiO2 复合半导体薄膜 光催化
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纳米复合S2O8^2-/SnO2-TiO2催化α-蒎烯异构反应 认领 引用 被引量：6
9
作者 赵黔榕 吴春华 +2 位作者 燕军 张国平 杜霞 《应用化学》 CAS 北大核心 2008年第2期204-207,共4页
采用溶胶-凝胶法制备了新型纳米复合S2O82-/SnO2-TiO2固体超强酸催化剂,用XRD、TEM、FT-IR和BET比表面测定技术对其结构进行了表征。结果显示,所得复合催化剂颗粒为圆球形,粒径为15～20nm,且粒度均匀,具有较好的分散性;S2O82-附着于SnO2... 采用溶胶-凝胶法制备了新型纳米复合S2O82-/SnO2-TiO2固体超强酸催化剂,用XRD、TEM、FT-IR和BET比表面测定技术对其结构进行了表征。结果显示,所得复合催化剂颗粒为圆球形,粒径为15～20nm,且粒度均匀,具有较好的分散性;S2O82-附着于SnO2-TiO2表面形成强酸中心;SnO2的引入明显增大了催化剂的比表面积。首次将纳米复合S2O82-/SnO2-TiO2用于催化α-蒎烯异构化反应。该催化剂具有较好的催化活性和选择性,异构化反应的主产物是莰烯,副产物是苧烯、异松油烯、三环烯等。与单一型S2O82-/TiO2比较,该催化剂能有效降低异构反应体系温度20～30℃。在适宜的工艺条件下,α-蒎烯的转化率为98%以上,莰烯的选择性达到63%。 展开更多
关键词 固体超强酸 S2O8^2-/SnO2-TiO2 纳米粒子 α-蒎烯 催化异构
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Preparation and Characterization of CeO2-TiO2/SnO2:Sb Films Deposited on Glass Substrates by R.F.Sputtering 认领 引用 被引量：6
10
作者 ZHAO Qingnan DONG Yuhong +2 位作者 NI Jiamiao WANG Peng ZHAO Xiujian 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2008年第4期443-447,共5页
CeO2-TiO2 films and CeO2-TiO/SnO2:Sb(6 mol%)double films were deposited on glass substrates by radio-frequency magnetron sputtering(R.F.Sputtering),using SnO2:Sb(6 mol%)target,and CeO2-TiO2 targets with different mola... CeO2-TiO2 films and CeO2-TiO/SnO2:Sb(6 mol%)double films were deposited on glass substrates by radio-frequency magnetron sputtering(R.F.Sputtering),using SnO2:Sb(6 mol%)target,and CeO2-TiO2 targets with different molar ratio of CeO2 to TiO2(CeO2:TiO2-0:1.0;0.1:0.9;0.2:0.8;0.3:0.7;0.4:0.6;0.5:0.5;0.6:0.4;0.7:0.3;0.8:0.2;0.9:0.1;1.0:0).The films are characterized by UV-visible transmission and infrared reflection spectra,scanning electron microscopy(SEM),Raman spectroscopy,X-ray photoelectron spectroscopy(XPS)and X-ray diffraction(XRD),respectively.The obtained results show that the amorphous phases composed of CeO2-TiO2 play an important role in absorbing UV,there are Ce^3-,Ce^4-and Ti^4-on the surface of the films;the glass substrates coated with CeO2-TiO2(Ce/Ti=0.5:0.5;0.6:0.4)/SnO2:Sb(6 mol%)double films show high absorbing UV(〉99),high visible light transmission(75%)and good infrared reflection(〉70%).The sheet resistance of the films is 30-50Ω/□.The glass substrates coated with the double functional films can be used as window glass of buildings,automobile and so on. 展开更多
关键词 coating glass CeO2-TiO/SnO2:Sb double thin films absorbing UV IR reflection R.F.sputterin
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SnO_2纳米薄膜的制备、显微结构及气敏性能 认领 引用 被引量：8
11
作者 赵杰 赵经贵 +3 位作者 高山 霍丽华 王海水 席时权 《应用化学》 CAS 北大核心 2004年第2期122-125,共4页
以SnCl2 ·2H2 O和无水乙醇为原料 ,采用溶胶 凝胶方法制备了SnO2 透明溶胶 ,通过浸渍提拉技术制备了SnO2 纳米薄膜 ;利用XRD、UV和AFM技术研究了薄膜的结构和形貌。结果表明 ,SnO2 纳米薄膜的球形粒径约 5nm ;随着薄膜沉积层数的增... 以SnCl2 ·2H2 O和无水乙醇为原料 ,采用溶胶 凝胶方法制备了SnO2 透明溶胶 ,通过浸渍提拉技术制备了SnO2 纳米薄膜 ;利用XRD、UV和AFM技术研究了薄膜的结构和形貌。结果表明 ,SnO2 纳米薄膜的球形粒径约 5nm ;随着薄膜沉积层数的增加 ,其电子光谱的吸收呈线性增加 ,膜电阻则逐渐减小并趋于稳定值。薄膜对 1 0 0～ 1 0 0 0 μL/L的乙醇和丙酮都有较好的敏感性和响应 恢复特性 ,对 80 0 μL/L的气体响应和恢复时间分别为 3 0和 60s。 展开更多
关键词 SnO2 薄膜 溶胶-凝胶法 气敏性能
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Sr-F共掺杂的SnO_2基透明导电薄膜 认领 引用 被引量：7
12
作者 吴绍航 张楠 +2 位作者 郭晓阳 蒋大鹏 刘星元 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第7期829-833,共5页
利用离子源辅助的电子束热蒸发技术研制了高性能的Sr-F共掺杂SnO2(SFTO)基透明导电薄膜。所制备的SFTO薄膜具有良好的导电性和透过率,电阻率低于3.9×10-3Ω·cm,380~2500nm波段的平均透过率大于85%,功函数约为5.10eV。SFTO透... 利用离子源辅助的电子束热蒸发技术研制了高性能的Sr-F共掺杂SnO2(SFTO)基透明导电薄膜。所制备的SFTO薄膜具有良好的导电性和透过率,电阻率低于3.9×10-3Ω·cm,380~2500nm波段的平均透过率大于85%,功函数约为5.10eV。SFTO透明导电薄膜为非晶态薄膜,具有较好的表面平整度(Rq450℃)相比,本文所用的衬底温度仅为300℃,有望直接将SnO2基透明导电非晶薄膜制备到柔性的塑料(PI、PAR或PCO)衬底上以获得性能良好的柔性电极。 展开更多
关键词 透明导电薄膜 无铟 SnO2 半导体掺杂
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超级电容器高比容(RuO_2/SnO_2)·nH_2O复合薄膜电极的研究 认领 引用 被引量：9
13
作者 甘卫平 师响 +2 位作者 黄波 刘泓 刘继宇 《材料导报》 CAS 北大核心 2009年第8期7-10,共4页
采用电沉积工艺制备超级电容器用钽基(RuO2/SnO2).nH2O复合薄膜,研究了初始沉积液中Sn2+与Ru3+浓度比以及热处理对制备(RuO2/SnO2).nH2O复合薄膜性能的影响。借助扫描电镜、X射线衍射仪、红外光谱对薄膜的形貌和物相进行分析,用循环伏安... 采用电沉积工艺制备超级电容器用钽基(RuO2/SnO2).nH2O复合薄膜,研究了初始沉积液中Sn2+与Ru3+浓度比以及热处理对制备(RuO2/SnO2).nH2O复合薄膜性能的影响。借助扫描电镜、X射线衍射仪、红外光谱对薄膜的形貌和物相进行分析,用循环伏安法(CV)对该复合薄膜电容特性进行了测量。结果表明,以沉积液中Sn2+与Ru3+浓度比为2∶1时电沉积出的样品,在温度为300℃、热处理2.5h后所制备出的复合电极薄膜材料的比电容达到385F/g。 展开更多
关键词 电沉积 (RuO2/SnO2).nH2O复合薄膜 超级电容器 掺杂
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电沉积三维多孔Pt/SnO_2薄膜及其对甲醇的电催化氧化 认领 引用 被引量：8
14
作者 周颖华 岑树琼 +1 位作者 李则林 牛振江 《化学学报》 SCIE CAS 北大核心 2007年第23期2669-2674,共6页
在高电流密度下以阴极析出的氢气泡为"模板"电沉积三维多孔Sn薄膜,经在200℃2h和400℃2h热处理氧化后电沉积金属Pt,制得三维多孔的Pt/SnO2(3D-Pt/SnO2)薄膜.通过扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)分析了薄膜的形貌和结构.结果显... 在高电流密度下以阴极析出的氢气泡为"模板"电沉积三维多孔Sn薄膜,经在200℃2h和400℃2h热处理氧化后电沉积金属Pt,制得三维多孔的Pt/SnO2(3D-Pt/SnO2)薄膜.通过扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)分析了薄膜的形貌和结构.结果显示Pt主要沉积在SnO2枝晶上,形成Ptshell/SnO2core结构的枝晶.在0.5mol·dm-3H2SO4+1.0mol·dm-3CH3OH溶液中的循环伏安结果表明,3D-Pt/SnO2薄膜电极在酸性溶液中电催化氧化甲醇的性能优于电沉积的纯铂电极,而且具有较高的稳定性. 展开更多
关键词 Pt/SnO2 三维多孔薄膜 电沉积 甲醇 电催化氧化
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磁控溅射法制备CeO_2-TiO_2紫外吸收薄膜 认领 引用 被引量：5
15
作者 周学东 倪佳苗 +3 位作者 赵修建 杨晟 龚勇宏 肜建娜 《武汉理工大学学报》 EI CAS 北大核心 2006年第1期7-9,12,共3页
采用射频磁控溅射在玻璃基片上沉积具有紫外吸收CeO2-TiO2混和薄膜。通过制备一系列不同物质的量浓度比的，n（CeO2）：n（TiO2）靶材（1．0：0，0．90：0．10，0．80：020，0．70：0．30，0．60：0．40，0．50：0．50，0．40：0．60，0... 采用射频磁控溅射在玻璃基片上沉积具有紫外吸收CeO2-TiO2混和薄膜。通过制备一系列不同物质的量浓度比的，n（CeO2）：n（TiO2）靶材（1．0：0，0．90：0．10，0．80：020，0．70：0．30，0．60：0．40，0．50：0．50，0．40：0．60，0．30：0．70，0．20：0．80，0．10：0．90，0：1．0），研究其紫外吸收性能最佳的物质的量浓度比：TiO2加入CeO2后，改变CeO2的结晶状态并提高UV吸收．采用Raman和XPS表征薄膜的特性，物质的量浓度比值在n（CeO2）：n（TiO2）=0．5：0．5，0．6：0．4时，薄膜为非晶态，并具有高的紫外吸收（98％）和可见光透过率（70％-80％）；XDS分析表明薄膜存在（F^4＋，Ce^3＋和Ti^4＋。 展开更多
关键词 CeO2-TiO2薄膜 UV吸收 磁控溅射
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Ag改性TiO_2/SnO_2纳米薄膜及光催化降解甲基橙的性能 认领 引用 被引量：7
16
作者 李爱昌 王丽娜 范红显 《中国有色金属学报》 EI CAS 北大核心 2009年第3期511-516,共6页
以光还原沉积法对TiO2/SnO2薄膜进行Ag改性,制备Ag-TiO2/SnO2纳米薄膜,讨论紫外光照时间、光照强度、AgNO3浓度等工艺条件对光催化活性的影响。用XRD和SEM对薄膜的结构、表面形貌和化学组成进行表征,以甲基橙为模拟污染物对光催化性能... 以光还原沉积法对TiO2/SnO2薄膜进行Ag改性,制备Ag-TiO2/SnO2纳米薄膜,讨论紫外光照时间、光照强度、AgNO3浓度等工艺条件对光催化活性的影响。用XRD和SEM对薄膜的结构、表面形貌和化学组成进行表征,以甲基橙为模拟污染物对光催化性能进行测定。结果表明:在最佳条件下制备的Ag-TiO2/SnO2薄膜,Ag担载量为0.51%(摩尔分数),Ag簇直径在30～90nm之间;薄膜具有较高的光催化活性,对甲基橙的降解率是修饰前TiO2/SnO2薄膜的2.02倍,是相同质量TiO2/ITO薄膜的3.30倍;催化活性的提高,源于反应机理的改变;薄膜中Ag-TiO2异质结的引入,一方面进一步促使光生电荷的分离,另一方面加速了氧气与激发电子的还原反应。 展开更多
关键词 TiO2/SnO2薄膜 银 光沉积 光催化 降解 甲基橙
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基板温度对SnO_2:Sb薄膜结构和性能的影响 认领 引用 被引量：7
17
作者 谢莲革 汪建勋 +3 位作者 沈鸽 翁文剑 杜丕一 韩高荣 《功能材料》 EI CAS 北大核心 2005年第3期411-413,418,共3页
以单丁基三氯化锡(MBTC)和 SbCl3 为反应原料,采用常压化学气相沉积法(APCVD 法)在不同的基板温度下制备 Sb 掺杂 SnO2 薄膜,用 XRD、SEM表征了薄膜的结构和形貌,通过测量薄膜的方块电阻、载流子浓度、霍尔(Hall)系数、紫外可见光谱等性... 以单丁基三氯化锡(MBTC)和 SbCl3 为反应原料,采用常压化学气相沉积法(APCVD 法)在不同的基板温度下制备 Sb 掺杂 SnO2 薄膜,用 XRD、SEM表征了薄膜的结构和形貌,通过测量薄膜的方块电阻、载流子浓度、霍尔(Hall)系数、紫外可见光谱等性质,详细研究了基板温度对薄膜结构和光电性能的影响。实验表明 550℃以上制备的样品为多晶薄膜,并保持四方相金红石型结构;在 650℃下沉积的薄膜具有最低的方块电阻值,为 72Ω/□;在可见光区域薄膜透射率和反射率随着基板温度的提高均有所下降。 展开更多
关键词 APCVD法 Sb掺杂SnO2薄膜 基板温度
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退火处理对SnO_2:Sb薄膜结构和光致发光性质的影响 认领 引用 被引量：6
18
作者 王玉恒 马瑾 +2 位作者 计峰 余旭浒 马洪磊 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS 北大核心 2005年第11期1747-1750,共4页
用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备出SnO2:Sb薄膜,研究了不同掺杂和退火对薄膜结构的影响。制备薄膜是具有纯氧化锡四方金红石结构的多晶膜薄,晶粒生长的择优取向为(110)。室温下光致发光测量首次观测到392nm附近存在紫外-紫光发射,并对... 用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备出SnO2:Sb薄膜,研究了不同掺杂和退火对薄膜结构的影响。制备薄膜是具有纯氧化锡四方金红石结构的多晶膜薄,晶粒生长的择优取向为(110)。室温下光致发光测量首次观测到392nm附近存在紫外-紫光发射,并对SnO2:Sb的光致发光机制进行了探索性研究。 展开更多
关键词 射频磁控溅射法 SnO2:Sb薄膜 光致发光
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P型透明导电SnO_2薄膜的研究进展 认领 引用 被引量：6
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作者 倪佳苗 赵修建 +1 位作者 郑小林 赵江 《真空科学与技术学报》 EI CAS 北大核心 2009年第5期531-535,共5页
SnO2薄膜是一种应用广泛的宽禁带半导体材料。近几年来,随着对SnO2的光电性质及其在光电器件方面应用的开发研究,SnO2薄膜成为研究热点之一。制备掺杂的p型SnO2是形成同质p-n结以及实现其实际应用的重要途径。近年来,国内外在p型SnO2薄... SnO2薄膜是一种应用广泛的宽禁带半导体材料。近几年来,随着对SnO2的光电性质及其在光电器件方面应用的开发研究,SnO2薄膜成为研究热点之一。制备掺杂的p型SnO2是形成同质p-n结以及实现其实际应用的重要途径。近年来,国内外在p型SnO2薄膜研究方面取得了较大的进展。目前报道的p型SnO2薄膜的最高电导率为5.952Ω-1cm-1。并且得到了具有较好非线性伏安特性的铟锡氧化物的透明p-n结。本文就其最新进展进行了综述。 展开更多
关键词 SnO2薄膜 P型透明导电膜 综述 透明氧化物
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Ni修饰层对SnO_2薄膜气敏性能影响 认领 引用 被引量：4
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作者 王磊 杜军 +1 位作者 毛昌辉 杨志民 《真空科学与技术学报》 EI CAS 北大核心 2006年第6期512-516,共5页
采用磁控溅射技术在SnO2薄膜表面修饰金属Ni，研究Ni修饰量对SnO2薄膜气敏性能影响。对Ni-SnO2薄膜进行表面成分分析，发现Ni的表面含量和化学价态对Ni-SnO2薄膜气敏性能影响至关重要。Ni的表面修饰量在3．4％-8．8％之间将有效提高SnO... 采用磁控溅射技术在SnO2薄膜表面修饰金属Ni，研究Ni修饰量对SnO2薄膜气敏性能影响。对Ni-SnO2薄膜进行表面成分分析，发现Ni的表面含量和化学价态对Ni-SnO2薄膜气敏性能影响至关重要。Ni的表面修饰量在3．4％-8．8％之间将有效提高SnO2薄膜对低浓度氢气的敏感性能。180℃工作温度下，表面含Ni3．4％的SnO2薄膜对1000ppm的氢气灵敏度最高为59．6，同时响应时间和恢复时间降低至15s和125s。Ni修饰量增加到23．4％，薄膜的气敏性能恶化，这是因为修饰层过厚，阻碍气体与SnO2材料接触。同时，XPS证实NiO是增加SnO2薄膜气敏性能的主要物质，增敏机理解释为Ni氧化后形成的NiO在SnO2薄膜上形成p-n结，促进元件的电导变化，从而提高了薄膜的气敏性能。 展开更多
关键词 SnO2 Ni 薄膜 表面修饰 气体传感器
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